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高科設備優化最佳服務商 Genius Solution for SEMI-EQ.
X-Guard
產品特色
產品示意
保護您的裝置更加完整
全時保護E-Chuck免於製程環境內的侵蝕，延長裝置壽命，有效提升整體生產效率，人體工學設計，快速安裝，特殊角度可輔以專用安裝治具，是蝕刻區不可或缺的關鍵輔具。
1.
保護貼片材質已通過客戶驗證，不釋出任何干擾物質，並可提供完整PM Cycle防護能力。
2.
針對客戶所需保護部位，特殊設計角度/貼附方式/安裝方式/貼附強度。
3.
產品經特殊設計，更換移除零殘膠，且不損及設備表面塗層。
4.
隨PM Cycle更換，同時移除製程中可能殘留之沈積物質，有效排除defect issue.
5.
針對設備所需，開發不同規格產品，有效提升設備使用效率及安裝效率。
6.
針對特殊位置，手工難以貼附區域，配合需求開發專用治具，讓安裝更加簡單。
7.
人體工學設計，安裝簡便，新入手人員僅需15~20分鐘即可完成安裝。
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